1.什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？

质量流量计(简称MFM)是一种精确测量气体流量的仪器，其测量值不会因温度或压力波动而不准确，因此不需要温度和压力补偿。
质量流量控制器(简写为MFC)不仅具有质量流量计的功能，更重点的是可以自动控制气体流量，即用户可以依据需要设定流量，MFC自动将流量保持在设定值，即使系统压力波动或环境温度变化也不会偏离设定值。简单来说，质量流量控制器就是一个稳流装置，可以手动设定，也可以连接电脑自动控制气体流量。2 .
。质量流量控制器的原理是什么？
质量流量控制器由流量传感器、分流通道、流量调节阀和放大控制器组成。气体流量传感器利用毛细管传热和温差量热法的原理来测量气体的质量流量(无温度和压力补偿)。传感器加热电桥测得的流量信号送至放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压比较，然后放大差值信号控制调节阀，闭环控制通过通道的流量使其等于设定流量。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量指示器设有稳压电源、数字电压表、设定电位器、外设、内置转换器和三位阀控开关。

3.如何理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？
气体质量流量单位通常用SCCM(每分钟标准立方厘米)和slm(每分钟标准升)表示。这意味着在不同的使用条件下，该仪器的指示流量处于标准状态。标准状态是:气压-—101325帕(760毫米汞柱)；温度-0℃ (273.15k)。这是本仪表与其他流量计的重点区别，也是SCCM与SLM、ML/min与L/min的区别。
对于大部分用户来说，体积流量的表示方法很习惯，也很容易使用，但有些用户需要知道单位时间内流动的介质的质量(如g/min)，很容易实现。因为标准状态下的气体密度是一个常数，很容易找到，所以只要做一个乘法(密度乘以几个slm)就可以实现。因此，标准状态下的体积流量等于质量流量。【/br/】需要说明的是，世界各国质量流量控制器厂商普遍采取的质量流量单位sccm/slm并不符合国内测量标准中普遍采取的质量流量国际单位(Kg/min)，但符合国际半导体协会制定的SEMI国际标准。

4.什么情况下应该使用质量流量计，使用质量流量控制器？
一般来说，仅测量或监测流量时，使用质量流量计；当需要控制流量时，使用质量流量控制器。在某些测量场合，两者都可以使用，如毛细管流量的测量，在恒压下测量流量时，使用质量流量计；当以恒定流量测量压力时，需要质量流量控制器。注意，当质量流量控制器处于清洁状态时，也可作为质量流量计使用，但空气压降比普通质量流量计大。

5.质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？
(1)流量测量和控制不会因温度或压力波动而不准确。
对于大多数流量测量和控制系统来说，很难避免系统的压力波动和环境、介质的温度变化。对于普通的流量计，压力和温度的波动会导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，一般可以忽略。
(2)测量控制的自动化
质量流量计/质量流量控制器可以将测量的流量值作为标准电信号输出。这个就容易实现流量的数字显示、累计流量的自动测量、数据的自动记录和计算机管理。对于质量流量控制器，还可以实现自动流量控制。通常MFC/MFM的模拟输入输出信号为0~+5V或4~20mA，数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口，可方便地与计算机连接进行自动控制。
(3)流量的精确定量控制
质量流量控制器可以精确控制给定的气体量，对于很多工艺过程中的流量控制和不同气体的比例控制特别有用。
(4)应用范围广
工作压力范围广，我们的产品可以从true 空到10MPa可适用于各种气体介质(包括一些腐蚀性气体，如HCl)；它具有很宽的流量范围，我们产品的最小流量范围可达0 ~ 5 SCCM，最大流量范围可达0 ~ 200 SLM。流量显示分辨率可达满量程的0.1%，流量控制范围为满量程的2~100%(量程比-50: 1)，因此在很多领域得到广泛应用。

6.质量流量计的缺点是什么？使用质量流量控制器时，您最怕什么？
质量流量计与便宜的转子流量计相比，最主要的缺点是价格贵。
使用质量流量控制器时有四种恐惧:
一是怕灰尘。如果灰尘进入流量计，会堵塞传感器和分流器，造成测量误差，所以要求在进气口前安装过滤器；
二是怕液体和油污进入MFC会失控。如果MFC的出口与液体罐相连，则需要在MFC的出口处增加一个单向阀，以防止液体回流。
第三，怕用潮湿的腐蚀性气体，会使不锈钢生锈，损坏MFC通道。因此，在使用腐蚀性气体之前，需要干燥气体和MFC管道系统。
第四，使用强腐蚀性、易燃性、爆炸性、毒性等有害气体时，如果不遵守安全规则，恐怕会造成产品损坏等更严重的损失。正确使用和安全操作对每个用户来说都是最重点的。

7.质量流量控制器的工作压差范围是什么概念？
质量流量控制器(MFC)配有一个气体流量调节阀，它可以将通过控制器的流量从零调节到整个测量范围。在工作过程中，控制器的入口和出口之间会有一个压降，即压差。MFC的工作压差通常为0.1~0.3MPa，如果压差低于最低值(0.1 MPa)，可能达不到满量程值。如果高于最大值(0.3MPa)，有可能关闭时流量不能低于2%F.S。用户在使用MFC时，无论用户工作的反应室是真空还是高压，MFC的进出口压差都要保持在要求的压差范围内，气压要相对稳定。

8.高压下如何使用质量流量控制器？
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小，在高压条件下正常使用要特别注意三点:一是选用耐压合格的MFC二是要选择工作压差范围大的产品型号；再次，在MFC气路前安装减压阀以稳定入口气压，在MFC下游安装背压阀以稳定反应室和MFC出口的气压，并适当调整减压阀和背压阀以保证MFC的工作压差不会超过规定范围。只要做到以上三点，MFC就能在高压下稳定工作。

9.利用挥发性液体蒸发蒸汽，气压很低。质量流量控制器低压降产品如何定制？
有些用户使用挥发性液体蒸发蒸汽作为气源(如丙酮)，气压很低，普通MFC无法正常工作。此时，用户需要向供应商特别说明，定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC，MFC的工作压差范围也会变小。
注意，使用挥发性液体蒸发蒸汽时，不应让蒸汽在MFC中凝结，这会影响MFC的正常工作。为了防止结露，管道和MFC可以适当加热，但MFC的工作环境温度通常不应超过50℃。如果用户希望MFC的工作环境温度超过65℃，需要专门购买耐高温的MFC产品。

10.质量流量控制器可以用来控制腐蚀性气体和特殊气体吗？如何选择密封材料？
质量流量控制器可用于控制各种气体，包括腐蚀性气体和特殊气体。但需要注意的是，对于腐蚀性气体和特殊气体的使用，需要正确选择型号和密封材料。订购时，用户需要向供应商申报气体的用途，以避免因选型错误或密封材料选择不当而造成严重损失。
通常气体质量流量控制器与工作气体接触的湿材料有316L不锈钢、PTFE和密封材料，密封材料分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封材料通常是耐腐蚀材料，如不锈钢、金或镍。带金属密封的MFC原则上可用于任何气体，包括各种腐蚀性气体和特殊气体。对于MOCVD中使用的三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和金属氧化物气体，建议最好使用金属密封的MFC。
由于金属密封的MFC价格较高，通常在要求不高的场合使用橡胶密封的MFC。除非另有说明，MFC采取氟橡胶密封，可用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体，如氯化氢等卤素干气。其他特殊的腐蚀性气体需要特殊的橡胶。需要耐氨气氨橡胶，如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶；有机溶剂蒸汽气氛(丙酮、甲苯等。)-需要硅橡胶；三溴化硼、三溴化三硼、氟化氢等。-需要全氟橡胶。

11.选择产品和订购时需要注意什么？
这关系到用户的切身利益，涉及到很多问题，所以我们尽量给出一个诚实客观的答案。
(1)注意选择合适的品牌
一般要综合衡量生产厂家的产品质量、销售价格、售后服务、技术水平、产品特点、生产规模、企业信誉等因素。
(2)注意正确的测量范围
A .把你需要的流量换算成标准状态下的流量(质量流量)。
B .依据厂家提供的质量流量换算系数表，将你所用气体的质量流量值换算成相当于氮气(标定气体)的质量流量值。如果要依据实际使用的气体进行校准，请告知厂家。有关质量流量换算系数的问题，下面进一步回答。
C .确定所需的标准范围。厂家一般都有自己的各种规格的标准量程，你实际使用的最大流量应该低于某个标准量程值。标准量程的选择应避免过大或过小。质量流量的误差指数依据满量程值的百分比指定。如果实际流量较小，量程值过大，则测量值的相对误差较大。
(3)注意选择正确的工作压力指数
不同产品的工作压力指数可能不同，注意选择适合自己的产品。
质量流量控制器(MFC)除了最大工作压力外，还有另一个工作压力指标:工作压差，即MFC入口端和出口端的压差。要注意选择和使用。
(4)注意选择合适的精度指标
精度、线性和重复性是几个重点的指标，其中重复性在很多应用中尤为重点。指标不一定追求最高，要考虑自己的实际需求。
如果对厂家给出的指标不放心，有条件的用户也可以自行校准。校准方法请参考以下相关内容。
(5)注意选择合适的响应时间指标
有些应用系统对MFC的响应时间要求比较高，用户要依据自身条件来考虑。在考虑响应时间指标的同时，还要关注其响应过程和动态特性。
(6)注意对安装位置有无要求
有些厂家要求产品安装在水平位置。
(7)注意气体的用途和适用范围
MFM/MFC对环境和介质温度、气源压力、介质(特别是腐蚀性气体)等都有一定的适用范围。请注意阅读说明书或咨询制造商。
(8)注意连接器形式
通常有两种连接器可供选择:世伟洛克和VCR，VCR连接器性能更好，适合高端应用。
(9)订单应注明:
产品名称、型号、流量规格、标定气体、所用气体(尤其是腐蚀性气体)、接头形式和数量。

12.购买质量流量计/质量流量控制器时，是否需要购买其他配套产品？
一般需要一个流量指标来匹配。流量指示器为MFM/MFC提供工作电源，显示流量并为MFC设置流量。如果MFM/MFC直接连接到计算机测量和控制系统，它可能没有配备适当的流量指示器。
另外还有截止阀、过滤器、干燥器、单向阀、管件、减压器、背压阀等。可以依据系统需要购买。

13.如何选择流量指示器？
我们的流量计非常丰富，用户选择的余地很大。
我们有单通道(带一个MFM/MFC)和多通道(带多个MFM/MFC)的产品；多通道产品分为共享显示和分离显示(前者更小更便宜，但显示需要切换；后者更大，但显示直观)；有台式、仪表式、架式；所有输入输出只能是电压信号，电压电流信号都可以；大部分产品使用交流220V电源，部分产品可以使用交流110V电源。既有MFC和MFM，也有单一的MFM。
还有一个流量累加器，可以显示瞬时流量和累积流量。
在机柜上安装流量指示器的用户应注意所安装开口的大小。

14.如何选择流量显示单位？
我们的流量指示器一般提供三种流量显示单位，即百分比、SCCM和SLM。出厂前依据用户要求设定。依据百分比显示方法，即MFM/MFC的测量流量值依据其满量程的百分比显示。例如，当显示值为80%时，实际流速为40SCCM。对于任何MFM/MFC，满量程值显示为100%。这种方法是通用的，可以和不同范围的MFM/MFC一起使用，但是不直观，有些用户不习惯。
依据SCCM或SLM显示，流量显示范围与出厂时对应的MFM/MFC范围相匹配，显示值为使用时的流量值，直观习惯，被大多数用户采取。匹配后，原则上也可用于其他量程的MFM/MFC，但显示值需要修正。参见以下相关问题。

15.显示器必须依据实际使用的气体进行校准吗？
不一定。依据实际使用气体标定显示，显示实际气体流量，更加直观。但在很多实际应用中，只需要找到一个合适的流量参数，并保证测量和控制的重复性即可。至于气体的实际质量流量，用户并不特别关心。在这种情况下，可以直接使用出厂标准产品(氮气校准显示)。当然，如前所述，当您选择流量规范时，您需要转换它以选择合适的范围。对于一些用户来说，同一产品有时可能填充不同的气体。这种情况下，直接用氮气校准出厂产品更方便。

16.不同气体的质量流量怎么换算？
一般情况下，产品是依据氮气进行校准的，流量规格是依据氮气流量确定的。当使用差不多规格的MFM/MFC测量不同的气体时，当流量检测值差不多时，实际流量值可能不同。在规范中，我们给出了不同气体相对于校准气体(氮气)的质量流量转换系数。
如果你使用的产品是标准出厂产品(依据氮气标定显示)，而你需要知道实际使用气体的质量流量，先在产品说明书中找到实际使用气体的换算系数。在测量过程中，这个系数乘以流量显示值就是实际使用气体的质量流量；相反，在确定购买产品的范围时，实际使用气体的最大预期流量值除以换算系数，即为氮气校准产品对应的流量值。
空气体，如O2、H2、CO、HCl、HF等。，换算系数约为1.0，一般可不经换算直接作为氮气校准显示的产品。

17.不同气体的流量换算系数是如何得到的？如何计算混合气体的换算系数？
气体的流量换算系数理论上取决于气体在标准状态下的密度和比热，以及气体的分子组成系数。常用单组分气体的换算系数可在生产厂家的产品技术说明书中找到；如果已知气体的密度和比热，也可以用下面的大概公式计算。
气体质量流量换算系数C的大概公式:
C=0.3106 N /ρ(Cp)
其中ρ为气体的密度
CP为气体在恒压下的比热
n为气体的分子组成系数(。见下表)
气体分子组成系数表
取气体分子组成例n的值
单原子分子Ar He 1.01
双原子分子CO N2 1.00
三原子分子CO2 NO2 0.94
多原子分子NH3 C4H8 0.88。

如果是多组分混合气体(假设由n种气体组成)，按下式计算其换算系数c:
0.3106[n1(ω1/ωt)+N2(ω2/ωt)+NN(ωn/ωt)]
c =——。

其中:ω1 …ωn ——为相应气体的流量
ωT ——为混合气体的流量
ρ1…ρn ——为相应气体的密度(数值见产品技术规格)
cp1 … CPN ——为相应气体在恒压下的比热(数值见产品技术规格)[

18.MFM/MFC使用中有哪些注意事项？
(1)注意阅读产品说明书及相关资料
(2)注意轻拿轻放，妥善保管
MFM/MFC比较精密，要防止撞击和强烈震动。产品不使用时，请将其保存在良好的环境中。
(3)注重系统设计
用户购买MFM/MFC后，往往要设置一个系统。建议在设计系统时，不仅要考虑功能的实现，还要考虑系统的可靠性、安全性、可操作性、可维护性和可扩展性。具体建议如下:
A .注意安装过滤器，净化气源，延长MFM/MFC的使用寿命。
B .对于反应系统，建议在MFC出口端安装单向阀，防止异常情况下反应物回流损坏MFC。
C .对于高压系统，应在MFC下游安装背压阀(或其他节流装置)和压力表，以保证MFC的工作压差。
D .对于硅烷这种遇空气体易结晶的物质，要特别注意系统的密封性(检漏时不要忽略减压器)。如有必要，设计吹扫旁路，并随时进行氮气吹扫或正压维持。
E .对于要求高的气路系统，注意尽量减少气路接头，采取VCR等接头。对于使用有害气体的系统，泄漏检测必须严格。气路机柜应具有排气系统，以防止对人员和设备造成损害。
F .有高频源的系统要注意屏蔽，特别注意处理接地问题，比如采取单点接地。
g.mfm/MFC的安装位置应便于拆装、检测和调零，且安全可靠。
H .对于可靠性要求极高的系统，应注意冗余设计。
(4)注意正确操作
对于复杂的系统或使用有害气体的系统，应制定完善的安全操作规程，防止误操作。
(5)注意所用气体与流量计密封材料的相容性
我厂生产的流量计密封材料为氟橡胶，适用于大多数气体，包括HCL等强腐蚀性气体。但对于氨，必须使用耐氨橡胶；对于有机溶剂气体，如丙酮和甲苯，必须使用硅橡胶；对于三氯化硼和三溴化硼等高腐蚀性介质的使用，必须使用带有四氟密封或金属密封的流量计。用户必须特别注意订购和使用。
(6)注意定期校准
质量流量计原则上应定期校准。

19.我可以自己改变MFM/MFC的范围吗？换范围需要注意什么？
要更改MFM/MFC的量程，需要更换分流阀端口等部件并校准量程，因此用户不能自行更改量程。改变范围一般应在制造商或指定的维修站进行。如果你觉得没有选择范围，你应该联系供应商和制造商。
当改变MFM/MFC的范围时，请注意您的流量指示器是否也应进行调整。如果流量以百分比显示，指示器不需要改变；如果依据SCCM或SLM显示流量，通常需要调整流量指示器以适应新的流量范围。您也可以通过乘以一个修正系数来修正流量显示值，而无需调整流量指示器:
修正系数=新的满量程值/原始满量程值。
有关更换流量指示器的问题，请仔细阅读流量指示器的说明。如果有更改范围的说明，可以依据需要自己更改。如果没有解释，请联系制造商。

20.模拟MFC如何与计算机连接？
计算机可以直接连接到MFC，也可以通过流量指示器连接到MFC。
对于模拟MFC，一般需要给计算机配备A/D和D/A转换板。模拟/数字转换用于接收流量测量值，数字/模拟转换用于给出0-5v直流流量设定信号。这种转换板在工业控制产品市场上很容易买到。如果MFC直接连接电脑，用户需要自备15V电源(要求抗干扰能力强)；将“设置”线连接到计算机D/A输出；将“流量检测”线连接到计算机的A/D输入端；MFC信号地可以与计算机信号线连接。
如果MFC通过流量指示器连接到计算机，将流量指示器的“外设”线连接到计算机D/A输出；将“流量检测”线连接到计算机的A/D输入端；显示仪表的信号地可以和电脑信号线连接。
当然也需要相应的软件。
21。数字质量流量控制器发展如何？有什么特点？
有两种类型的数字质量流量控制器，一种是数字模拟兼容产品，另一种是全数字产品。数字模拟兼容产品使用与模拟流量计差不多的15V电源，输入输出信号不仅是模拟+5v直流信号，还有RS232/RS485串行通讯口。当兼容数字和模拟的MFC设置为模拟时，可以直接替换模拟MFC，无需其他更改。全数字产品通常采取24VDC单电源，没有模拟输入输出信号，只有现场总线通信信号。
数字质量流量控制器内置MCU多功能微处理器，可以将采集的流量信号数字化，进行线性温度校正，比模拟产品具有更高的精度和线性性能。数字PID控制功能可以提高稳定性，智能改变响应特性。串行通信使MFC更便于计算机系统控制。数字智能MFC逐渐取代全模拟MFC，这是技术发展的必然趋势。